主要技術(shù)指標(biāo)：
a、工作溫度范圍：150℃～800℃
b、升溫速率：0.01℃～80℃/s，可設(shè)定
c、密封石英腔尺寸：290mmx230mmx18mm
d、載物臺：ф160mm，適用于6英寸晶片
e、歐陸程序控制，可設(shè)置任意大小的升溫曲線，編程及操作十分方便靈活，控制精度高，快速升溫過沖小
f、不銹鋼反應(yīng)室上下反射面聚焦設(shè)計，表面鍍金，增加熱反射，減少熱散失，極大提高加熱效率，有利于快速升溫
g、整個爐體采用水冷卻，確保爐體散熱和快速降溫。