主要技術(shù)指標：
a、電源：220V 50Hz 1KW
b、整機尺寸：550mmx1600mmx500mm（內(nèi)置真空泵）
c、固體射頻電源：f＝13.56MHz，0～500W連續(xù)可調(diào)。（帶自動匹配器）
d、最大裝片容量：20片/次
e、最裝片直徑：100mm
f、去膠速率：>500?/min（正膠）
g、四片電容式極板，反應室口進氣，有利于提高等離子體均勻性和去膠速率
h、真空度：約－100k
i、氣體流量：0.2～1L/Min，美國浮子流量計控制氣體流量
j、真空腔：GE石英ф200mmx300mm
k、自動匹配器。
l、控制方式：PLC、觸摸屏控制。
m、2L/s機械真空泵