主要技術(shù)指標：
1.腔體內(nèi)尺寸：360mm(D)X250mm（W）X110mm(H)（參考尺寸）。
2.裝片容量：最大1-7片標準8寸片。
3.腔體溫度：30——60℃可調(diào)。溫控表控溫，由PLC設(shè)置和顯示?？刂凭取?℃。
4.管道HF壓力：700---550Torr。
5.管道溫度：30——60℃可調(diào)。溫度控制精度±1℃。
6.腔體真空度：50-250Torr。
7.HF氣體流量：20——1000ml/min。
8.N2氣體流量：40——2000ml/min。
9.乙醇液體流量：40——2000ug/min。
10.所有壓力表頭及壓力傳感器接口均為VCR型式。
11.外框面板采用冷板噴塑，厚度1.5mm，符合常規(guī)半導體生產(chǎn)設(shè)備顏色。
